海德漢2013年新產(chǎn)品介紹

海德漢2013年新產(chǎn)品介紹

敞開式增量直線光柵尺           LIF400

精度高和安裝簡單

應(yīng)用

?    半導(dǎo)體后端生產(chǎn)設(shè)備

?    計(jì)量儀器

特點(diǎn)

?    緊湊型讀數(shù)頭和光柵尺

?    PRECIMET背膠固定，安裝簡單

?    抗污染能力較強(qiáng)

?    限位開關(guān)和回零軌

技術(shù)參數(shù)

?    玻璃基體或Zerodur玻璃陶瓷基體的
SUPRADUR相位光柵

?     信號(hào)周期                            4µm

?     精度等級(jí)                            ±3 µm

?     典型位置誤差

單信號(hào)周期內(nèi)                      ±0.04 µm

?     測量長度                            至1020 mm

?     接口                                  1VPP或TTL

敞開式增量直線光柵尺           LIDA400

用于高速運(yùn)動(dòng)和大測量范圍

應(yīng)用

?    半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)和檢測設(shè)備

?    PCB電路板組裝機(jī)

?    測量機(jī)

特點(diǎn)

?    運(yùn)動(dòng)速度快

?    測量長度大

?    安裝公差大

?    限位開關(guān)

?    多種型號(hào)可供選擇

技術(shù)參數(shù)

?    鋼帶，玻璃或玻璃陶瓷基體的METALLUR光柵

?     信號(hào)周期                            20µm

?     測量步距                            至0.05µm

?     精度等級(jí)                            至±5 µm

?     典型位置誤差

單信號(hào)周期內(nèi)                      ±0.2 µm

?     測量長度                            至30m

?     接口                                  1VPP或TTL

無內(nèi)置軸承增量式角度編碼器

玻璃圓光柵碼盤/輪轂總成

應(yīng)用

?    計(jì)量儀器

?    高速旋轉(zhuǎn)軸

特點(diǎn)

?    尺寸緊湊

?    高精度

?    信號(hào)誤差補(bǔ)償

技術(shù)參數(shù)

?    玻璃基體的METALLUR光柵尺

?    信號(hào)周期數(shù) 9 000/18 000

?    系統(tǒng)精度   ± 5/± 3角秒

?    直徑 外徑 71/150 mm

內(nèi)徑 25/95 mm

?    接口 1 VPP或TT

敞開式直線光柵尺                   LIC4000

精度高和測量范圍大

應(yīng)用

?           半導(dǎo)體工業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備

?           PCB電路板組裝機(jī)

?           測量機(jī)

?           直接驅(qū)動(dòng)

特點(diǎn)

?           大測量范圍的位置值

?           高分辨率

?           結(jié)構(gòu)緊湊

?           安裝和診斷簡單

技術(shù)參數(shù)

?           有刻軌的METALLUR鋼帶

?           分辨率              zui小至0.001µm（1 nm）

?           精度等級(jí)         達(dá)±5 µm

?           典型位置誤差

單信號(hào)周期內(nèi)± 0.08 µm

?           測量長度         至27m

?           運(yùn)動(dòng)速度         至8m/s

?           接口                 EnDat2.2

式模塊旋轉(zhuǎn)編碼器                   ECN1123/EQN 1135

單圈/多圈版

應(yīng)用

?           伺服電機(jī)反饋系統(tǒng)

?           機(jī)械手應(yīng)用

?           一般自動(dòng)化系統(tǒng)

特點(diǎn)

?           結(jié)構(gòu)緊湊

?           安裝簡單

?           功能安全

技術(shù)參數(shù)

?           單圈測量步距數(shù)          8388 608 (23 bits)

?           分辨率（EQN1135）              4096 (12 bits)

?           系統(tǒng)精度         ±60’’

?           接口    EnDat2.2

8 MHz時(shí)鐘頻率

?           安全等級(jí)         SIL2，EN 61 508

3級(jí)PL d，
EN ISO 13 849-1:2008

?           供電電壓         DC3.6至14 V

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